Обозначение: |
ГОСТ 25661-83 |
Название рус.: |
Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования |
Название англ.: |
Installations for final water treatment. General technical requirement |
Дата введения в действие: |
1984-01-01 |
Область и условия применения: |
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции |
|
Изменение №1 к ГОСТ 25661-83 от 1989-01-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |