| Обозначение: | ГОСТ 25661-83 |
| Название рус.: | Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования |
| Название англ.: | Installations for final water treatment. General technical requirement |
| Дата введения в действие: | 1984-01-01 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции |
| Изменение №1 к ГОСТ 25661-83 от 1989-01-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |