Обозначение: | ГОСТ Р 8.636-2007 |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки |
Название англ.: | State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration |
Дата введения в действие: | 2008-08-01 |
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 |