Обозначение: | ГОСТ Р 8.631-2007 |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки |
Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification |
Дата введения в действие: | 2008-02-01 |
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. |
Изменение №1 к ГОСТ Р 8.631-2007 от 2011-04-01 |