Обозначение: |
ГОСТ 26239.1-84 |
Название рус.: |
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
Название англ.: |
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination |
Дата введения в действие: |
1986-01-01 |
Область и условия применения: |
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане |
|
Изменение №1 к ГОСТ 26239.1-84 от 1991-01-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |