Обозначение: |
ГОСТ 26239.8-84 |
Название рус.: |
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
Название англ.: |
Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
Дата введения в действие: |
1986-01-01 |
Область и условия применения: |
Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом |
|
Изменение №1 к ГОСТ 26239.8-84 от 1991-01-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |