| Обозначение: | ГОСТ Р 8.643-2008 |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure |
| Дата введения в действие: | 2009-02-01 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки |