ГОСТ Р 52250-2004

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Обозначение:	ГОСТ Р 52250-2004
Название рус.:	Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название англ.:	Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата введения в действие:	2005-01-01
Область и условия применения:	Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Ссылка на скачивание появится через 15 секунд.