| Обозначение: | ГОСТ 8.594-2009 |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Method for verification |
| Дата введения в действие: | 2010-11-01 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592 |