Обозначение: |
ГОСТ 25663-83 |
Название рус.: |
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний |
Название англ.: |
Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods |
Дата введения в действие: |
1984-01-01 |
Область и условия применения: |
Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия |
|
Изменение №1 к ГОСТ 25663-83 от 1984-10-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |
|
Изменение №2 к ГОСТ 25663-83 от 1989-01-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |