Обозначение: |
ГОСТ 25662-83 |
Название рус.: |
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний |
Название англ.: |
Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods |
Дата введения в действие: |
1984-01-01 |
Область и условия применения: |
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций |
|
Изменение №2 к ГОСТ 25662-83 от 1989-01-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |
|
Изменение №1 к ГОСТ 25662-83 от 1984-10-01 (текст интегрирован в текст или описание стандарта) |